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第72部分 (1 / 4)

物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部,也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯,当然已经是非常成熟的设备了。他们还算是运气好,幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器,这两样科研设备。否则如果让他们从新研究,就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此时,就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下,得知他们的任务非常困难,非短时间所能解决。于是他做出了一个决定,让这套芯片生产设备开始试制芯片,有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多,这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

没有自动检测程序,需要人工检测,芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样,整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意,对长胜投资集团来说,能用钱解决的问题都不是问题。

用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片,难度当然很低了,初次制造,合格率就非常高,达到了53%,不合格的芯片,不是工艺问题,而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了,还缺少许多先进技术。他们用的是原始的自然蚀刻技术,因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂,溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻,就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备,没有经验,以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备,以前4位元芯片的时候,人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青非常重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

说实话,他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形,本来就很神奇。现在却说这种方法不行,要另想办法。这可真的难住他们了,他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说:“试试干法蚀刻,或许要好许多。”

“老板,什么是干法蚀刻?你能祥细的告诉我们吗?”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢?

“先声明啊!我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下,电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击,使之同样气态电离化,然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤,直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀,得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多,也精密得多。不管怎么样!大家先试试看吧!”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来,具体的技术和方法就要他们去研究了。

“老板,具体点,是哪几种电浆,你知道吗?”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道,所以才用这样的语气请问他。

“我怎么知道?我又不是科学家,我只不过是看到书上提到了几句,具体的原理和方法,还要你们自己去实验,我是帮不了的。”果然不出王波所料,老板不知道。而且他还讲的理直气壮,也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道,也真是怪了。老板经常神神秘秘的,好多的先进技术,都是从他的嘴里讲出来的,虽然只有皮毛,但是起码有了方向,不再是一无所知。

“大家听我说,刚才老板己经为我们指明了方向,我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下,觉得非常可行。许多技术,我们在研制离子注入机的时候己经掌握了。这种新方法,无非是在离子注入

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