乾隆七年，始敕议亲蚕典礼，议者以郊外道远，且水源不通，无浴蚕所。考唐、宋时后妃亲蚕，多在宫苑中，明亦改建西苑。高宗鉴往制，允其议。命所司相度，遂建坛苑东北隅。三面树桑柘。坛东为观桑台，前桑园，后亲蚕门。其内亲蚕殿，后浴蚕池，池北为后殿。宫左为蚕妇浴蚕河。南北木桥二，南桥东即先蚕神殿也。左曰蚕署，北桥东曰蚕所，皆符古制云。
是岁定皇后飨先蚕礼，立蚕室，豫奉先蚕西陵氏神位。届日辰初刻，后礼服乘凤辇出宫，至内壝左门降，入具服殿，妃、嫔从。盥讫，升中阶，就南阶上拜位，六肃，三跪，三拜。谢福胙礼三减一。不读祝。爵三献。凡拜跪，妃、嫔坛下皆行礼。馀如飨先农仪。礼成还宫。越日，行躬桑礼。先是筑台桑田北，置蚕母二人，蚕妇二十七人，蚕宫令、丞各一人承其事。后散斋一日，从采桑妃、嫔以下毕斋。是日昧爽，从桑侍班公主等祗候南门内。巳初刻，后出宫，妃、嫔从，诣西苑，入具服殿。传赞分引妃、嫔、公主等就采桑位，典仪奏请后行礼。出诣桑畦北正中，相仪二人，⻊忌进筐、钩，后右持钩，左提筐，东行畦外。内监扬采旗，鸣金鼓，歌采桑辞，后东西三采毕，歌止。相仪⻊忌受筐、钩。后御观桑台，以次妃、嫔、公主等五采，命妇九采。讫。蚕母北面跪，典仪举筐授之，祗受退。切之，授蚕妇，洒于箔。后御茧馆，传赞引妃、嫔等行礼讫。还宫。蚕事毕，蚕母、蚕妇择茧贮筐以献。卜吉行治茧礼，后复诣坛临织室，缫三盆，手遂布于蚕妇以终事。寻侍郎三德疏言：“亲蚕典礼，为旷世钜仪，请将坛址宫殿规制，兴工告成日期，宣付史馆。”诏从之。九年三月，始亲蚕如仪。
寻定后不亲莅，遣妃代行。行礼阶下，升降自东阶。不饮福、受胙，不陪祀。十四年，礼部请遣妃代祀。时皇贵妃未正位中宫，帝谕曰：“妃所代，代后也。位未正，何代为？”因命内府大臣行礼。洎皇后册立，始亲飨。嗣后或躬亲，或官摄，或妃代，并取旨行。
其行省所祭，惟乾隆五十九年，定浙江轩辕黄帝庙蚕神暨杭、嘉、湖属蚕神祠，岁祭列入祀典，祭器视先农。
地祇顺治初，定岳、镇、海、渎既配飨方泽，复建地祇坛，位天坛西，兼祀天下名山、大川。三年，定北镇、北海合遣一人，东岳、东镇、东海一人，西岳、西镇、江渎一人，中岳、淮渎、济渎一人，北岳、中镇、西海、河渎一人，南镇、南海一人，南岳专遣一人，将行，先遣官致斋一日，二跪六拜，行三献礼。
八年，封兴京永陵山曰启运，东京陵山曰积庆，福陵山曰天柱，昭陵山曰隆业，并列祀地坛。十六年，徙东京陵祔兴京，罢积庆山祀。明年，用礼臣言，改祀北岳于浑源。康熙二年，赐号凤台山曰昌瑞，并祀之。六年，遣祭如初制。惟南镇、南海各分遣一人。十六年，诏封长白山神秩祀如五岳。自是岁时望祭无阙。
二十四年，东巡祀泰岳，祝版不书御名。先一日致斋。太常赍祝版、香、帛、爵，有司备祭品牲荐。届日衣龙衮，出行宫。乐备不作。至庙内降舆。入中门，俟幄次，出盥毕，诣殿中拜位，二跪六拜。奠、献如常仪。不饮福、受胙。明年，复改祀北岳、混同江。逾二年，始望祭。
三十五年正月，为元元祈福，始遣大臣分行祭告，凡岳五：曰东岳泰山、南岳衡山、中岳嵩山、西岳华山，北岳恆山。镇五：曰东镇沂山、南镇会稽山、中镇霍山、西镇吴山、北镇医巫闾山。海四：曰东海、南海、西海、北海。渎四：曰江渎、淮渎、济渎、河渎。又兀喇长白山。翕河乔岳自此始。明年，朔漠平，遣祭岳、镇、海、渎如故。雍正二年，赐号江渎曰涵和，河渎曰润毓，淮渎曰通佑，济渎曰永惠。并赐东海为显仁，南为昭明，西为正恆，北为崇礼。乾隆二年，封泰宁山曰永宁，附祀地坛如故事。