的光刻技术专家。您稍微指点两句,肯定会让我们获益良多。”
“哪里。我想以中国人的智慧,一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录,也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人,对汉语阅读就越流利,倒是不用担心他会看不懂实验记录。
城三太郎打开实验记录,粗粗的扫了两眼,不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行,产生的变化都不相同。193nm的准分子激光,想要应用在光刻机上,就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料,全面的了解镜头对激光产生的所有影响。
从实验记录的结果上面来看,显然泛翰集团已经对高密度石英,进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80%的水平,要知道当全部测试完成之后,接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段,基本就可以看做是0。35微米工艺光刻机技术开发,进入到最后的步奏了。
“赵桑,这些数据都是你们自己的镜头,测试出来的结果吗?”城三太郎颇为焦急的问道,他这样的问题可以说是非常的不礼貌,但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。
能够测试出完全正确的镜头数据,这说明中国人已经掌握了0。35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说,简直就像是在乡下小河沟里,突然钓出来一条大白鲨一样。
当今国际上,如果把芯片生产技术分成三个档次。那么1。2到0。8微米,可以算是上点档次的三流技术,至于1。2微米以上、乃至2微米以上的技术,已经基本没有存在的价值了。而0。5微米技术,可以算是二流技术,是当今世界上晶圆厂的主流水平。至于0。35微米工艺,就连尼康也不过才刚刚掌握而已。
这突然之间,在中国这种科技荒漠的国度里,城三太郎竟然发现了世界一流的光学镜片加工水平,岂不是太过于荒谬了吗!
这点把戏说穿了,其实毫不奇怪。周硕穿越前的二十年后,高密度石英材料早就已经被研究个透了。虽然没有各项镜片的具体实验数据,但其本身的各项特性却根本不是秘密。从基础数据进行反向推算,很容易就能得到理论上的实验数据。当然这些数据在1995年的城三太郎看来,没有经过试验是绝对不可能得到的。
中国人什么时候有这种水平了?这不科学啊!收起心中的惊讶,城三太郎表面上平静下来,假意摇头道:“你们在没有外部帮助的情况下,能够做到这一步确实非常的不容易了。不过目前看来石英材料带来的折射率,还是无法满足技术需要的。在我们日本,更加倾向于使用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2。1折射率,能够极大的缩小线宽工艺。”
城三太郎这话说的也是半真半假,他当然不可能拿纯粹的假话来糊弄。泛翰研究院能够走到这个地步,没有点技术功底是不可能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工,对激光的影响和石英材料也完全不同,如果泛翰研究院真的转头去研究这种材料,恐怕十年内都没有希望获得成果。
“真的?”赵大健脸色瞬间变得很坏,向江清月训斥道:“小江你们激光实验室是怎么回事?即使不能追上国际先进水平,但追踪国际水平也做不到吗?你听听,人家日本已经在使用镥铝柘榴石来制作镜头了,你们还在做石英材料的试验,这怎么能够满足我们运营部的需求?”
“这……”江清月的脸色不由得难看起来,有些生气的说道:“我们的技术路线不同,未必就不能继续沿用石英材料镜头吧?何况现在研究院已经在这项实验上投入了很大一笔资金,这时候再更改研究方向,集团哪里拿得出来这笔钱?”
“这你怕什么?集团很快就能得到一笔一亿美元以上的订单