0。35微米工艺研发出来了,国外也早就用上0。25微米的技术了。何况微电子中心到现在连0。5微米的技术都没有掌握,谈何0。35微米工艺的研发?科学发展是严谨的,别想一口吃成个胖子。”
叶德成不服气的说道:“那泛翰研究院不也是一个月,就完成了0。8微米工艺向0。5微米的改进?私人企业的研究院能做到,我们中科院的机构会做不到?”
“那怎么一样,你根本不知道,泛翰研究院在0。8微米线上用了……”
就在叶德成期待的过程中,笑扉扉说到一半,突然刹住了嘴。她尴尬的露出贝齿一笑,摇头说道:“具体的技术不能说,我是签了保密协议的。”
“嘿!”叶德成差点气的一口气没喘上来,听到最重要的地方,竟然不说了。这对科研工作者来说,可真是比杀了他还要难受了。
看着叶德成抓耳挠腮的样子,旁边王守武老先生的眼睛也亮了起来,就连坐在办公桌后面的大领导身体也开始微微前倾。
周硕微微一笑,接过笑扉扉的话头道:“其实也没什么,还是我说吧。我们泛翰研究院在0。8微米工艺的光刻机上,使用了沉浸式技术。使用纯水做折射,降低了蚀刻光的波长。”
第二百八十一章坦白
“沉浸式?”科委大领导对光刻机研究不深,一时还没反应过来。
“纯水!”王老则不同,只听了这一段话,立刻就明白了这里面的技术关键。
“等等,也就是说,你们泛翰研究院在精密制造上面,并没有什么突破了?”然而终究还是叶德成对此事最为上心,一下就抓住了问题的关键。
通过一个新的子系统实现的技术升级,和通过提高精密制造能力实现的技术升级,虽然结果上并没有什么不同,但对于微电子中心来说意义可就全然不同了!一直以来微电子中心之所以承受如此大的压力,不就是因为泛翰集团只用了一个月时间,就做到了微电子中心两三年才实现的目标吗?
但任何新技术,刚开始取得进步总是很容易的。哪怕是传统的精密制造,芯片工艺从2微米进步到1。2微米,三年时间便足足缩小了800纳米的线宽。但当芯片制造技术的工艺,下降到100纳米以下的级别之后,几十、十几纳米的进步,往往就需要一两年时间的努力。而这些进步需要投入的人力、物力、精力,却更是几十、上百倍于1。2微米工艺的时代。
周硕坦诚的说道:“没错,泛翰研究院虽然有纳米光栅技术项目组,但目前还没有任何进展。沉浸式光刻机技术只对光源、光刻胶和镜头处理有一些要求,正适合我们在微电子中心0。8微米技术的基础上,进行改进。”
叶德成这段时间里受到的压力可是绝对不小。想想堂堂中科院国家级的研究机构,竟然还不如一个民间私企研究院。谁还能吃得下饭、睡得着觉?
如今听闻泛翰研究院的光刻机技术,并非是整体性提高。而是通过一种巧妙的子系统设计。实现的“假”0。5微米工艺。他不由得开怀大笑道:“哈哈,原来是这样。我就说你们一个私企研究院,怎么可能比我们微电子中心,做出更好的成绩来?说到底,不过是取巧罢了。”
“老叶,你的科学素养呢?”王老只是轻轻咳嗽了一声,立刻就打掉了叶德成的嚣张气焰。
“在科学技术上,能取巧才是本事。没有取巧的心,一味蛮干能追上国际水平?”王老教训了叶德成一句。转过头来满意的看向周硕道:“小朋友你很不错啊,就这么把这里的窍门告诉我们,不怕中科院学了去?”
周硕歪头笑了笑,浑不在意的说道:“就是耐水的光刻胶配方和光源配置方案,以及一整套光刻机的改造技术,我也可以无偿的献给国家。”