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第200部分 (5 / 5)

而纯水,必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍,那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的,所以必须使用特制的……”

周硕倒是不怎么在乎保密的问题,如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去,那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年,才逐渐投入使用的技术。真要是形成论文,绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中,非常重要的一个方面。

他们向实�

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