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第三百四十三章跳坑

第三百四十三章跳坑

“对准系统的数码变焦?”白石茉莉奈还是第一次看到谈判的内部文件,想当然的和鹤田犯了同一个毛病,以为泛翰集团只有一个沉浸式光刻技术能拿得出手。一个成立不过一年多的公司,接触光刻机业务连半年时间都没有,真当光刻机技术是大白菜呢?

白石茉莉奈看着手里这份技术清单,真的感觉自己手里这颗大白菜,貌似是用一整块缅甸翡翠雕成的了。

“使用数学算法来弥补对准系统分辨率不足的问题,对光刻机改造来说是必不可少的技术。”周硕点了点头,进行解释道。

别以为光刻机这种高大上的东西,和我们平常的生活没有关系。任何高科技最终都要走入普通人家里的,当年梦幻一样的3d打印机,能用来造战斗机的技术,现在还不是摆在了技术宅的桌子上?虽然现在只能打印塑料,但谁知道未来有没有能够直接打印原子的设备。

二十年前的光刻机技术,其实很多也都应用到了现在的相机上。要不怎么说,这些镜头厂家是光学工业的基础,尼康现在研究光刻机的技术,保不齐十年以后就是单反相机的优势技术。要不然以相机为主业的尼康,吃饱了撑的去做光刻机的买卖。

“泛翰集团还有倍增镜优化技术,准分子激光光源优化技术,漫射消除技术……”

周硕把手里的文件翻的哗啦啦作响,嘴里的名词一个劲儿的往外冒,很快就打了白石茉莉奈一个措手不及。

“如果说泛翰集团向合资公司注入沉浸式光刻技术可以获得49%的股份。那么我认为增加了这些技术之后,我们应该取得更多的股份。当然。尼康公司能够增加注入新公司资本的话,我们还可以具体的谈一谈。”

周硕微微笑着看向鹤田专务说道:“今天若想确立一个谈判框架。我想最重要的就是双方股份比例的范围,以及尼康公司选择哪个路线。”

鹤田看向白石茉莉奈,小声的在她耳边说道:“白石部长,你认为这些技术怎么样?是否真的应该允许泛翰集团把它们注入合资公司来?”

白石茉莉奈愁眉苦脸的翻看着资料上这些技术的具体介绍,微微叹了口气说道:“鹤田专务,显然这些都是沉浸式光刻的配套技术,如果不允许泛翰集团注入这些技术,那我们的0。25微米光刻机恐怕就要遭遇专利壁垒了。”

“专利壁垒!”鹤田眉头皱起来都快打结了,不可置信的说道:“有人能在光刻机领域里。给尼康设置专利壁垒?白石部长你在开玩笑吗?”

“我也希望是开玩笑。”白石茉莉奈微微摇了摇头,说道:“从这些介绍资料上来看,泛翰集团显然在光刻机沉浸式改造方面非常成熟,并且形成了一整个技术系列。和我们尼康、或者阿斯麦比起来,他们已经走了很远了。”

这是当然,沉浸式光刻技术不可能是一步到位。在光刻机进入0。18微米工艺之后,这项技术用了十年时间才逐渐完善起来。光是光源就从高压汞灯的g线升级到i线,也就是从436nm升级到365nm波长。然后才是krf准分子激光、arf准分子激光和f2准分子激光,波长也从248nm缩短到157nm。

每一种光源当然都不是拿个灯泡换一下就行了。像光刻机这种高精尖设备可谓是牵一而发动全身。光源改变,你滤光系统要不要变?对准系统要不要变?你光刻胶的成分要不要变?

甚至,在0。35微米光刻机的基础上改造0。25微米工艺,如何利用和挖掘现有系统的潜力?

这对二十年后自己实验室里就有一台光刻机的周硕来说。成熟的、广泛应用新技术的光刻机他才是最熟悉的。让他真的去在二十年前的系统上,慢慢改造出沉浸式

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